科技半導體設備
中國累計採購 343 台浸潤式 DUV，成熟設備調度成出口管制漏洞
結論先講：美國智庫統計，中國晶片商自 2012 年至 2026 年初累計取得 343 台浸潤式 DUV。即使拿不到 EUV，業者仍可利用多重曝光推進 7 奈米。報告因而主張把設備、零件與維護服務一併納入更嚴格管制。
343台
中國持有的浸潤式 DUV
296台
先進浸潤式 DUV 總數
130億美元
兩年單一機型採購金額逾此數
[ 3 個快取重點 ]
01
中國持有的 343 台設備中，約 270 台為 ASML NXT:1980i。
02
報告認為多重曝光可支援 7 奈米量產，但代價是成本更高、良率較低。
03
還沒定案：智庫主張全面封堵浸潤式 DUV，盟國是否採納仍不確定。
01設備庫存有多大
中國晶片商持有的浸潤式 DUV台
全部浸潤式 DUV
343
先進浸潤式 DUV
296
NXT:1980i
270
02為何現行限制仍有空隙
設備最初可申報用於成熟製程，進廠後卻可能重新調度。這使政策焦點從禁止最先進設備，轉向追蹤較舊機型的最終用途與維修服務。
03下一步看盟國協調
全面禁止會牽動荷蘭設備商與既有客戶服務，是否採行不只是技術判斷，也涉及盟國產業利益。
Bottom line
設備禁令若追不上工廠內的調度方式，型號清單再長也可能只管到出口那一刻。
- 原始報導
- 科技新報
- 改寫方式
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- 單位
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